408L線性快速溫變試驗箱

半導體級快速溫變試驗箱的關鍵特性

用于半導體可靠性測試的快速溫變試驗箱必須符合以下嚴苛要求：必須具備很高的溫變速率、出色的溫度均勻性與穩(wěn)定性、精準的溫度控制以及優(yōu)異的長 期運行可靠性

規(guī)格參數(shù)：

一、適用范圍：

1. 溫度：-70℃至150℃。

2. 濕度：20%至98%RH。

二、表頭控制精度：

1. 溫度：±0.3℃

2. 濕度：±2.5%RH

三、表頭解析精度：

1. 溫度：0.1℃

2. 濕度：0.1%RH

四、加溫時間： 常溫至150℃，約45分鐘。

五、降溫時間： 常溫至- 40℃，約60分鐘。

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408L線性快速溫變試驗箱

六、機器結構與材質(zhì)：

3. 內(nèi)箱材質(zhì)：SUS＃304耐熱耐寒不銹鋼板。

4. 外箱材質(zhì)：SUS＃304高張力不銹鋼板，并經(jīng)多道薄膜游離層表面處理。

5. 保溫材質(zhì)：高密度玻璃棉及高強度PU發(fā)泡絕緣材料。

6. 防汗機件：以系統(tǒng)K型管之熱能作防汗處理。

7. 門氣密材料：高張力parking耐溫-90至280℃。

8. 附屬設備：

a. 可調(diào)式活動盤2只，可任意改變距離。

b. 外接用測試孔乙只，可作動態(tài)測試。

c. 廣角投射照明設備，采省電高效率日光燈。

d. 多層真空玻璃視窗，防爆型。

e. 附可調(diào)固定軸及活動輪4組。

七、冷凍系統(tǒng)及加熱系統(tǒng)：

1. 省電型高效率法國泰康壓縮機。

2. 采環(huán)保R404A冷煤。

3. 全程管路系統(tǒng)氮氣加壓測漏。

4. 波浪狀鰭片型強迫送風冷凝器。

5. 斜率式F I N —T U B E蒸發(fā)器。

6.電磁閥；干燥過濾器等冷凍元件。

7. 內(nèi)螺旋式K —T Y P E冷媒銅管。

8. U —T Y P E高速電熱管，加熱迅速。

9.加溫、降溫系統(tǒng)*獨立，不需手動控制

1. 高線性溫變速率與精準控制

半導體HALT和TCT測試的核心是快速、精確地達到目標溫度并維持。溫變速率不足會延長測試周期，降低效率；溫度控制不精準則可能導致測試結果失真或無法復現(xiàn)。

廣皓天TEE-408PF通過優(yōu)化的制冷/加熱系統(tǒng)設計（如復疊式制冷、高效加熱器）和控制算法，可實現(xiàn)≥15℃/min的線性溫變速率（具體速率范圍視型號和溫度跨度而定）。其溫度控制精度可達±0.5℃，溫度均勻性在空載狀態(tài)下可達±2.0℃，確保測試腔內(nèi)各點溫度高度一致，為可靠性評估提供可信的基礎。其溫度傳感器（通常是高精度Pt100）和快速響應的控制回路是實現(xiàn)精準控溫的關鍵。

2. 溫度均勻性與穩(wěn)定性

半導體器件，尤其是晶圓級或板級測試時，對測試腔內(nèi)的溫度均勻性要求很高。不均勻的溫度場會導致被測器件（DUT）各部分應力不同，影響失效判據(jù)的準確性。

廣皓天TEE-408PF采用優(yōu)化的風道設計（如多面出風、特殊導流結構）和強力循環(huán)風機，確保在高速溫變過程中仍能維持優(yōu)異的溫度均勻性（如±2.0℃ @ -70℃）。其腔體保溫材料（如高性能玻璃棉）和密封結構有效減少冷熱損失，保證溫度穩(wěn)定性。即使在達到目標溫度后，也能快速穩(wěn)定，減少“過沖"或“欠調(diào)"現(xiàn)象。

3. 高可靠性與耐久性

半導體可靠性測試往往是長時間、高強度的連續(xù)運行（如數(shù)百甚至上千次溫度循環(huán)）。設備的可靠性直接關系到測試計劃的執(zhí)行和結果的有效性。

廣皓天TEE-408PF的關鍵部件（壓縮機、加熱器、風機、控制系統(tǒng)）均選用工業(yè)級或更高標準的品牌元器件，經(jīng)過嚴格篩選和老化測試。其結構設計注重維護便捷性（如易于更換的過濾器、模塊化設計）和運行保護（多重安全報警：超溫、過流、風機故障、制冷系統(tǒng)高低壓保護等）。堅固耐用的不銹鋼內(nèi)膽能抵抗頻繁熱脹冷縮應力和測試環(huán)境可能的化學腐蝕（如某些助焊劑蒸汽）。TEE-408PF的設計旨在滿足7x24小時連續(xù)高負荷運行的要求。

4. 滿足潔凈度與低干擾要求（可選/特定需求）

對于某些敏感器件或特定測試（如晶圓級老化），試驗箱內(nèi)部的顆粒污染或揮發(fā)物（來自保溫材料、密封件、潤滑油等）可能對被測器件造成污染或干擾電性能測試。

廣皓天可提供滿足更高潔凈度要求的TEE-408PF配置選項，例如：
* 低揮發(fā)物材料： 使用經(jīng)過特殊處理的低釋氣（Low Outgassing）密封材料和保溫層。
* 高效空氣過濾： 在循環(huán)風路中增加高效微?？諝猓℉EPA）過濾器，有效降低腔體內(nèi)顆粒物濃度。
* 密封性優(yōu)化： 增強腔體密封，減少外部污染物侵入和內(nèi)部材料揮發(fā)物逸出。
* 無硅油設計考量： 雖然試驗箱本身不像注射器直接接觸藥物，但若需杜絕硅油揮發(fā)物風險（某些特殊應用場景），可在選材和潤滑方案上針對性設計（如使用特定合成潤滑脂或干式運行設計），這需要與制造商明確需求。